ふっ化クリプトンの英語

本発明は、ＫｒＦエキシマレーザ発振器から取り出された不純ネオンガスからフッ素を除去し、この後、フッ素が除去された不純ネオンガスを冷却してクリプトンをゲル化ないしは液化し、該クリプトンを低温吸着器４２により吸着して不純ネオンガスから除去する。例文帳に追加

Fluorine is removed from the impure gaseous neon discharged from the KrF excimer laser oscillator, then the impure gaseous neon from which the fluorine is removed is cooled to gel or liquefy krypton, and the krypton is adsorbed with a low temperature adsorption device 42 to be removed from the impure gaseous neon. - 特許庁

なかでもフッ素樹脂からなるペリクル膜が好ましく、波長２４８ｎｍのフッ化クリプトンエキシマレーザー光や、波長１９３ｎｍのフッ化アルゴンエキシマレーザー光の露光光に対して使用することができる。例文帳に追加

The pellicle film preferably comprises a fluororesin and the pellicle is used for light for exposure such as KrF excimer laser beam having 248 nm wavelength or ArF excimer laser beam having 193 nm wavelength. - 特許庁

（七）　エキシマーレーザー発振器、銅レーザー発振器、金レーザー発振器、ナトリウムレーザー発振器、バリウムレーザー発振器、一酸化炭素レーザー発振器、二酸化炭素レーザー発振器、ふっ化水素レーザー発振器、ふっ化重水素レーザー発振器、酸素からの励起移動によって励起するように設計したよう素レーザー発振器、クリプトンイオンレーザー発振器、アルゴンイオンレーザー発振器又は窒素レーザー発振器以外のガスレーザー発振器であって、次のいずれかに該当するもの例文帳に追加

7. Excimer laser oscillators, copper laser oscillators, metal laser oscillators, sodium laser oscillators, barium laser oscillators, carbon monoxide laser oscillators, carbon dioxide laser oscillators, hydrogen fluoride laser oscillators, deuterium fluoride oscillators, and laser oscillators designed to be excited by excitation transfer from oxygen, krypton ion laser oscillators, argon laser oscillators and gas laser oscillators other nitrogen laser oscillators which fall under any of the following発音を聞く  - 日本法令外国語訳データベースシステム