アクティブ除振装置の英語

アクティブ除振装置、モード行列の算出方法およびこれらを用いた露光装置例文帳に追加

ACTIVE VIBRATION RESISTANT DEVICE, METHOD OF CALCULATION OF MODE MATRIX, AND EXPOSURE DEVICE USING THEM - 特許庁

アクティブ・マスダンパの固有振動数を除振対象物の固有振動数よりも高くした場合に、除振対象物及びアクティブ・マスダンパの両方の固有振動数において振動伝達率を長期に亘って低減させることが可能なアクティブ除振装置を提供する。例文帳に追加

To provide an active vibration isolation device, capable of reducing vibration transmitting ratio in inherent frequencies of both objects in which vibration is isolated and an active mass damper for a long period of time, when the inherent frequencies of the active mass damper is made higher than the inherent frequency of the object in which vibration is isolated. - 特許庁

アクティブ除振装置は、補助質量部材２０，第２のばね２１，第２の減衰器２２，第２のアクチュエータ２３及び第２の変位センサ２４を有してなるアクティブ動吸振器を制御対象１０上に備える。例文帳に追加

The active vibration resistant device is provided with an active dynamic vibration damper having an auxiliary mass member 20, a second spring 21, a second attenuator 22, a second actuator 23 and a second displacement sensor on a controlling object 10. - 特許庁

アクティブ除振装置において、簡単な構成で、１Ｈｚ付近の低周波数域における除振性能を向上させる。例文帳に追加

To improve vibration removing performances in a low frequency region near 1 Hz with a simple configuration in an active vibration removing device. - 特許庁

アクティブ除振装置において、位置制御を行いながらも、スカイフックスプリングの効果により、除振性能を向上させる技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technique which improves vibration removing performance through the effects of a sky hook spring while performing position control in an active vibration removing apparatus. - 特許庁

真空領域中へのガス放出を抑えることができ、広域除振性能の低下を抑制できるアクティブ除振装置等を提供する。例文帳に追加

To provide an active vibration cancellation device or the like capable of suppressing gas discharge to a vacuum domain and suppressing deterioration of wide range vibration cancellation performance. - 特許庁

アクティブ除振装置、露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および露光装置の保守方法例文帳に追加

ACTIVE VIBRATION ISOLATION DEVICE, ALIGNER, SEMICONDUCTOR DEVICE-MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR- MANUFACTURING FACTORY, AND MAINTENANCE METHOD OF ALIGNER - 特許庁

比較的簡単な構成でステージのアクティブ除振を行うことができ、位置決め精度を向上することのできるステージ装置等を提供する。例文帳に追加

To provide a stage device and others that can perform active elimination of stage vibration with a comparatively simple structure, thus enhancing positioning accuracy. - 特許庁