エアスライドの英語

粉粒体タンクにおけるエアスライド構造例文帳に追加

AIR SLIDE STRUCTURE IN POWDER AND GRAIN TANK - 特許庁

また、第１（第２）のエアスライドが垂直軸方向に移動する。例文帳に追加

Also, the first (second) air slide(s) move in the vertical axis directions. - 特許庁

上記変位計走査コラム９は、第１（第２）の変位計を搭載する第１のエアスライド、第３の変位計を搭載する第２のエアスライドを備え、一対のＶ溝１０に沿って水平軸方向に移動する。例文帳に追加

The displacement meter scanning column 9 comprises the first air slide for loading the first (second) displacement meter(s) and the second air slide for loading the third displacement meter, and moves along a pair of V-groove 10 in the horizontal axis direction. - 特許庁

エアスライドの傾きや駆動時の微振動の発生を防止することができるエアパッド、このエアパッドを用いたステージ及びこのステージを備える露光装置を提供する。例文帳に追加

To provide an air pad capable of preventing the inclination of an air slide or the generation of slight vibration, a stage using the air pad and an exposure device having the stage. - 特許庁

ＸＹＺ座標を形成するＸＹＺ参照ミラー２、３、４と、Ｚエアスライドガイド部１１を上下で共通とすることにより、上下の測定座標系を完全に同一とした。例文帳に追加

XYZ reference mirrors 2, 3 and 4 forming XYZ coordinate system, and a Z air slide guide section 11 are made common on the upper and lower sides, thereby making the upper and lower measuring coordinate systems completely identical. - 特許庁

リニアモータ駆動エアスライドにおいて、高推力モータと高剛性軸受を同時に実現すると共に、加速時のモーメント負荷を低減させることである。例文帳に追加

To realize a high thrust motor and high rigid bearing simultaneously and also reduce the moment load at the acceleration time, in a linear motor drive air slide. - 特許庁

被案内可動体を案内軌道に沿って移動させる際、被案内可動体の移動速度に係わらず、被案内可動体を任意の目標停止位置に停止可能な磁気ダンパーを備えたエアスライド装置を提供する。例文帳に追加

To provide an air slide device equipped with a magnetic damper which can stop a guided movable object at an optional target stopping location irrespective of a moving speed of the guided movable object when the guided movable object is moved along a guiding track. - 特許庁

ＸＹステージ装置８２に設けたＸ駆動装置５０がエアスライドによって可動部５２を非接触で支持しリニアモータ５１ａ，５１ｂによって可動部５２を駆動するので、載置台８２ａのＸＹ軸方向に関する運動が滑らかで高精度になる。例文帳に追加

An X driving device 50 disposed in an X-Y stage device 82 supports a movable section 52 in noncontact by air slide, and drives the movable section 52 with linear motors 51a and 51b, so that the motion related to the XY axial direction of a mounting stand 82a becomes smooth and highly accurate. - 特許庁