高電力パルス電圧発生器の英語

一方、パルス電力発生器８から、回転電極１１，１２に高電圧パルスを印加して放電を発生させ、高温プラズマを形成しＥＵＶ光を放射させる。例文帳に追加

Alternatively, high-voltage pulses are applied from a pulse power generator 8 on rotating electrodes 11, 12 to have discharge generated, high temperature plasma formed, and EUV light radiated. - 特許庁

ＲＦ電力増幅器と関連する高パルス繰返し数の制限を解決する高電圧、高速、および高繰返し数パルス発生器（３０）を提供する。例文帳に追加

To provide a high voltage, high speed and high pulse repetition rate pulse generator (30) which solves high pulse repetition rate limitations associated with an RF power amplifier. - 特許庁

金属反応容器内に基板を設置し、炭化水素ガスと水素との混合気体を反応容器内に導入し、前記基板と前記金属反応容器の間に所定周波数の高周波電力を供給して前記基板の周囲に放電プラズマを発生させ、前記基板に負のバイアス電圧又は／及びパルス電圧を繰り返し重畳して前記基板上にカーボンナノチューブを被着形成する。例文帳に追加

A substrate is disposed in a metal reaction chamber, the mixture gas of a hydrocarbon gas and hydrogen is introduced into the reaction chamber, high frequency electric power at a specified frequency is supplied between the substrate and the metal reaction chamber to generate discharge plasma around the substrate, and a negative bias voltage and/or pulse voltage is repeatedly superposed on the substrate to deposit carbon nanotubes on the substrate. - 特許庁