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A plurality of semiconductor wafer arranged on a carrier cassette with a pitch p are distributed to a plurality of treatment boats for a plurality of treatment chamber, the plurality of semiconductor wafers are arranged in those each treatment boat in a pitch np where the pitch p is multiplied by a integer n, and the same treatment is carried out in the plurality of each treatment chamber in the same time.例文帳に追加
キャリアカセット上にピッチpで配列された複数の半導体ウエハを、複数の処理室向けの複数の処理ボートに分配し、これらの各処理ボートでは複数の半導体ウエハをピッチpに整数nを乗じたピッチnpで配列し、複数の各処理室で同時に同じ処理を行う。 - 特許庁
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