マイクロ波プラズマへの注入の英語

本発明の課題は、一つのマイクロ波電源から複数の空洞共振器へマイクロ波エネルギーを供給する装置であって、プラズマ処理時間が短く、常に安定した成膜対象物へのマイクロ波電力注入が可能であるプラズマ処理装置を提供するものである。例文帳に追加

To provide a plasma treatment apparatus which supplies microwave energy to a plurality of cavity resonators from one microwave power supply, can treat an article to be film-formed in a short period of time by using plasma, and can constantly apply a stable microwave electric power to the article. - 特許庁

少なくとも内壁が導電性である管形状物内にマイクロ波あるいは高周波プラズマを生成し、管形状物に繰り返し負電位のパルスバイアスを印加することによって管内壁にイオンを照射あるいは注入することによって表面処理を施し、様々な特性を改善することにある。例文帳に追加

To execute surface treatment by generating microwaves or high-frequency plasma in a tube-shaped material in which at least the inner wall has electric conductivity, repeatedly applying a pulse bias of the negative potential to the tube-shaped material and thereby irradiating or impregnating the inner wall of the tube with ions and to improve various characteristics thereof. - 特許庁