化学体積制御の英語

化学的気相成長法による炭化珪素膜の体積抵抗率の制御方法例文帳に追加

METHOD FOR CONTROLLING VOLUME RESISTIVITY OF SILICON CARBIDE FILM OBTAINED BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION - 特許庁

基体上に化学的気相成長法によって炭化珪素膜を成膜するのに際して、炭化珪素膜の成膜速度を制御することによって炭化珪素膜の体積抵抗率を制御する。例文帳に追加

In deposition of a silicon carbide film on a substrate by a CVD method, the deposition rate is controlled to control volume resistivity of the silicon carbide film. - 特許庁

化学的気相成長法によって得られる高純度であって、かつ緻密質の炭化珪素体において、炭化珪素膜の体積抵抗率を、広い範囲で容易に制御する。例文帳に追加

To easily control, over a wide range, volume resistivity of a silicon carbide film composed of a highly pure and dense silicon carbide obtained by a chemical vapor deposition(CVD) method. - 特許庁

流体制御モジュール１０は、化学的に腐食性を有する、または極めて純度の高い流体が、液体状態または気体状態で流通される流体回路にインライン接続され、前記流体の流量、圧力および体積を制御する。例文帳に追加

The module 10 for fluid control is connected in-line to a fluid flow circuit through which a chemically corrosive or ultra high purity fluid flows in liquid or gaseous form and it controls the amount, pressure and volume of the fluid flow. - 特許庁

これによって、マトリックスとなる酸化物系セラミックスの優れた耐摩耗性、耐食性、化学的安定性、機械的特性を低下させることなく、かつ、体積抵抗率を任意の値に制御することが可能な、静電気耐性の低い電子デバイスなどの周辺部材や付帯部品、それらの製造に用いられる製造用治工具に使用される静電気拡散性を有するセラミックス材料が得られる。例文帳に追加

Thereby, the ceramics material having the electrostatic diffusion, capable of controlling the volume resistivity to an optional value without lowering excellent abrasion and corrosion resistances, chemical stability and mechanical characteristics of the oxide-based ceramics to be a matrix and used for peripheral members or attached parts such as electronic devices having low electrostatic resistance or jigs or tools used for producing the peripheral members or attached parts is obtained. - 特許庁