平面的グラフの英語

局部空間に液浸液が供給される液浸リソグラフィ装置において、局部空間の平面図の形状が実質的に基板と平行の実質的に多角形である。例文帳に追加

In a liquid immersion lithography equipment in which liquid immersion liquid is supplied to local space, the profile of the plan view of the local space is substantially parallel to a substrate and is substantially a polygon. - 特許庁

本発明は、自動的に自己回復が可能であり、かつ、基板テーブルに取り付けられた導管にかかる機械的負荷を最小限に抑える平面磁気位置決め手段を備えたリソグラフィ投影装置を提供する。例文帳に追加

To provide a projection apparatus for lithography having a planar magnetic positioning means that can be automatically self-recovered and that suppresses mechanical load applied to guide pipes that are mounted on a substrate table to the smallest extent. - 特許庁

局部空間に液浸液が供給される液浸リソグラフィ装置において、局部空間の平面図の形状が実質的に基板と平行の実質的に多角形である。例文帳に追加

In an immersion lithography apparatus in which an immersion liquid is supplied to a local space, the shape of a top view of the local space is substantially a polygon which is substantially parallel to a substrate. - 特許庁

磁気抵抗効果素子の形状として角部を有した平面パターン形状を形成するのにあたり、その角部を複数回のリソグラフィ工程およびエッチング工程を行い、複数回繰り返される各工程を経た後に最終的に当該角部が完成するように、前記平面パターン形状の形成を行う。例文帳に追加

The planar pattern shape of a magnetoresistive effect element having corners is formed such that the corners are completed finally after repeating a lithography step and an etching step a plurality of times. - 特許庁

リソグラフィ装置は、パターニングデバイスの側面の少なくとも１つに選択的に加圧することによって平面方向でパターニングデバイスの位置を制御するように構成された位置コントローラを含む。例文帳に追加

Lithographic apparatus includes a position controller for selectively pressurizing, at least one of sides of a patterning device M to control the position of the patterning device M in its planar direction. - 特許庁

また、評価関数の値が平面配置上で小さくなるようにノード配置の変更を逐次的に行う際に、予め指定されたノードについてはノード配置の変更を行わずにグラフ図形を配置する。例文帳に追加

Also, in successively changing node layout in order to reduce the value of the evaluation function on plane arrangement, the graphic diagram arrangement part 103 arranges graphic diagrams without changing node arrangement about predesignated nodes. - 特許庁

試料１１を線状のＸ線で走査したときに試料１１で回折したＸ線をＸ線検出器２８によって検出して平面的な回折像を得るＸ線トポグラフィ装置である。例文帳に追加

The x-ray topography apparatus obtains a planar diffraction image by detecting x-rays diffracted by a sample 11 when scanning the sample 11 with a linear x-ray by an x-ray detector 28. - 特許庁

平面的に現わされる画像情報がホログラフィックに記録されたホログラムから画像情報を取得できる光学式読取モジュールおよび光学式読取装置。例文帳に追加

To provide an optical reading module and an optical reader capable of obtaining image information from a hologram where two-dimensionally represented image information is holographically recorded. - 特許庁