終極の英語

段差（エッチング溝４）の深さを算出する演算工程を、干渉波形の最終極点以前の深さはシミュレーションによって深さを算出し、最終極点以降はシミュレーションによってエッチング深さ信号を参照しながらエッチング終点を検出する。例文帳に追加

In the operating system for calculating the depth of a level difference (etching groove 4), the depth is calculated by simulation at the part of an interference waves which do not reach a final pole point and the end point of etching is detected while referring to an etching depth signal by simulation at the part following the final pole point. - 特許庁