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自動装填装置

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「自動装填装置」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 1件

ホ　自動的にウエハーの装填を行うことができるマルチチャンバー対応ウエハー搬送中央装置であって、次の（一）及び（二）に該当するもの

(e) Automatic loading multi-chamber central wafer handling systems that fall under the following 1. and 2. - 日本法令外国語訳データベースシステム

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