薄薄の英語

薄薄膜に亜鉛を供給するプレカーサとして充分な反応性を有するビスアルコキシ亜鉛化合物に、揮発性、低融点化等のより好適な性質を付与して、特にＣＶＤ用原料として適する亜鉛化合物を提供すること。例文帳に追加

To impart suitable properties such as volatility and melting point-lowering property to a bisalkoxy zinc compound having sufficient reactivity as a precursor for supplying zinc to thin films to provide a zinc compound especially suitable as a raw material for CVD. - 特許庁

薄膜の膜厚、特に極薄薄膜の膜厚を正確に測定でき、また、アスペクトレシオの大きなコンタクトホール内部にある薄膜の膜厚も測定でき、複数の膜からなる多層膜の最表面の膜厚も測定できる膜厚測定装置および膜厚測定方法をを提供する。例文帳に追加

To provide a method and apparatus for measuring the thickness of a thin film, especially of an extremely thin film, accurately in which the thickness of a thin film in a contact hole having a high aspect ratio and the thickness of the uppermost film of a multiplayer film can also be measured. - 特許庁