走査透過型電子顕微鏡観察の英語

電子ビームを試料上で傾斜させて走査した場合でも、主ビームが常に円環状の暗視野走査像検出器の中心を通るようにすることができる走査像観察機能を有した透過型電子顕微鏡を実現する。例文帳に追加

To provide a transmission electron microscope having a scan image observation function for always passing a main beam through the center of an annular dark-field scan image detector even when scanning is carried out by a tilted electron beam on a sample. - 特許庁

共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法に関し、薄層状試料における異なった深さにおける原子配列を一画像で観察可能にする。例文帳に追加

To provide a confocal scanning transmission type electron microscope device and a three-dimensional tomographic observation method such that atom arrays of a thin-layer sample at different depths are observed through one image. - 特許庁

また、半導体デバイスの断面を観察する観察方法において、前記半導体デバイスの特定箇所の断面を走査型顕微鏡で観察する工程と；前記断面に非晶質構造の保護膜を形成し、当該保護膜を透して透過型電子顕微鏡によって前記断面を更に観察する工程とを含むことを特徴とする。例文帳に追加

Further, the observation method for observing the cross section of the semiconductor device includes a process for observing the cross section of the specific place of the semiconductor device by a scanning microscope and a process for forming the protective film of an amorphous structure to the cross section and further observing the cross section by the transmission type electron microscope through the protective film. - 特許庁

走査透過型の電子顕微鏡に電子線エネルギー分析装置（エネルギーフィルタ）１１を備え、電子線エネルギー損失スペクトルや元素分布像を観察する。例文帳に追加

An electron beam energy analyzer (energy filter) 11 is installed to a scanning transmission type electron microscope to observe an electron beam energy loss spectrum and an element distribution image. - 特許庁

走査透過型電子顕微鏡に依る観察方法及び観察装置に関し、ＳＴＥＭに於ける焦点ずれ量の最適化や虚像の消去を可能にする計算手段を実現し、そして、計算像を得る為の時間を大幅に短縮して電子顕微鏡像を観察直後に計算像と比較して条件をフィードバックできるようにする。例文帳に追加

To realize a computing means which can optimize an amount of focal gap in STEM and which can erase a virtual image and receive a feedback of a condition by substantially shortening the period of time to obtain a computed image and by comparing an image of an electron microscope to the computed image right after observation in an observation method and an observation equipment by a scanning transmission electron microscope. - 特許庁

デフォーカス及び非点収差を観察中に補正可能で、且つ原子分解能が得られる走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置及び収差補正方法を提供する。例文帳に追加

To provide an aberration correction device of a scanning transmission electron microscope, which can correct defocus and astigmatism during observation and can obtain atomic resolution; and to provide an aberration correction method thereof. - 特許庁

電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃から放射された電子線を試料に収束する収束手段と、試料を照射する収束電子線を走査する偏向手段と、試料像を投影する投影手段と、試料厚さ測定手段とを備える走査透過型電子顕微鏡観察装置を用いて観察を行う。例文帳に追加

The observation is performed by a scanning transmission electron microscope observation equipment equipped with a field emission electron gun, a convergence means to converge an electron ray emitted from the field emission electron gun onto a sample, a deflecting means to scan a convergence electron ray irradiating the sample, a projecting means to project a sample image, and a measuring means for a sample thickness. - 特許庁