超熱的イオンの英語

本発明は、イオン化スパッタ真空ポンプに関し、超高真空域から熱電子を導入して極高真空域での排気速度の低減を最小にすることを目的とする。例文帳に追加

To provide an ionization sputtering vacuum pump in which a reduction of evacuation speed in an ultrahigh vacuum region is minimized by introducing thermal electrons from an extra-ultrahigh vacuum region. - 特許庁

貼り合わせた状態の基板を１２０℃以上２５０℃以下（但し、支持基板の融点を超えない温度）の比較的低い温度で加熱し、さらに、外部衝撃を付与することで、熱処理後の貼り合せ基板の単結晶Ｓｉ基板１０の水素イオン注入界面１２に沿ってＳｉ結晶膜を剥離する。例文帳に追加

The substrates under the state stuck together are then heated at a relatively low temperature of 120-250°C (not exceeding the melting point of a supporting substrate), and an external impact is applied thereto thus exfoliating a silicon crystal film along the hydrogen ion implantation interface 12 of the single crystal Si substrate 10 in the substrates stuck together after heat treatment. - 特許庁