ARLとは 意味・読み方・使い方

A wiring trench 110 is formed in side an FSG film 108 and an ARL film 109.例文帳に追加

ＦＳＧ膜１０８及びＡＲＬ膜１０９の内部に配線溝１１０を形成する。 - 特許庁

To prevent a short circuit between wirings embedded in an insulating film and an ARL film thereon.例文帳に追加

絶縁膜及びその上のＡＲＬ膜に埋め込まれた配線同士の間における短絡を防止する。 - 特許庁

Then, the ARL film 109 on the FSG film 108 is removed by anisotropic etching using a fluorine-containing gas.例文帳に追加

次に、フッ素含有ガスを用いた異方性エッチングにより、ＦＳＧ膜１０８上のＡＲＬ膜１０９を除去する。 - 特許庁

After foreign matters stuck to an abrasive pad and the substrate 100 in the polishing are eliminated simultaneously, the surface of the ARL film 110 is polished.例文帳に追加

その後、研磨時に研磨パッド及び基板１００に付着した異物を同時に除去した後、ＡＲＬ膜１１０の表面を研磨する。 - 特許庁

A laminated anti-reflective film 104 of the TiN 4 and ARL-SiON 5 as well as the metallic film 3 are continuously dry etched in an identical processing chamber.例文帳に追加

ＴｉＮ、ＡＲＬ−ＳｉＯＮによる積層反射防止膜と、その下の金属積層膜を連続して同一処理室にてドライエッチングする。 - 特許庁

After foreign matters stuck to the substrate 100 in the polishing are eliminated, the surface of the ARL film 110 is polished.例文帳に追加

その後、研磨時に基板１００に付着した異物を除去した後、ＡＲＬ膜１１０の表面を研磨する。 - 特許庁

After a plurality of trenches 111 for wiring are formed in an FSG film 109 and an ARL film 110 formed on a substrate 100, a barrier metal film (tantalum nitride film 112) and conducting films for wiring (copper films 113 and 114) are deposited in sequence on the ARL film 110, in such a manner that each of the trenches 111 is completely filled.例文帳に追加

基板１００上に形成されたＦＳＧ膜１０９及びＡＲＬ膜１１０に複数の配線用溝１１１を形成した後、各配線用溝１１１が完全に埋まるようにＡＲＬ膜１１０上にバリアメタル膜（窒化タンタル膜１１２）及び配線用導電膜（銅膜１１３及び１１４）を順次堆積する。 - 特許庁