Johnsenとは 意味・読み方・使い方

To prevent generation of microarcing in an electrostatic chuck using Johnsen-Rahbeck force.例文帳に追加

ジョンソンラーベック力を利用した静電チャックにおいて、マイクロアーキング等の発生を防止する。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck capable of stably carrying out electrostatic chucking by the Johnsen-Rahbeck force.例文帳に追加

本発明は、ジョンセンラーベック力による静電吸着を安定して行う静電チャックを提供する。 - 特許庁

The first attraction mechanism generates Johnsen-Rahbeck force by electrifying a paper sheet P via the conveyance belt 8.例文帳に追加

第１吸着機構は、搬送ベルト８を介して用紙Ｐに電流を流すことにより、ジョンセン・ラーベック力を発生させる。 - 特許庁

These multi-resistivity layers establish a Johnsen-Rahbek effect for electrostatic chucking while not unduly compromising chuck strength or longevity.例文帳に追加

これらの多重固有抵抗層は、チャック強度または長寿命性を過度に犠牲にすることなく、静電チャッキングのためにジョンセンラーベック効果を確立する。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck which is provided with a ceramic dielectric capable of being easily fabricated by baking in the atmospheric environment and has high plasma resistance and uses Johnsen-Rahbeck force and has high adsorption force.例文帳に追加

本発明の課題は、大気雰囲気中の焼成により簡便に作製できるセラミック誘電体を備えた、耐プラズマ性が良好で、ジョンセン・ラーベック力を利用した吸着力の強い静電チャックを提供することである。 - 特許庁

Dielectric layer resistances 13a and 13b in the shape of thin rings are constituted of ceramics which are low in volume resistivity, and sucks a wafer mainly by Johnsen- Rahbeck force.例文帳に追加

細いリング状の誘電体層領域１３ａ、ｂは、体積固有抵抗が低いセラミックスから構成されており、主にジョンセンラーベック力によりウエハを吸着する。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck which is an electrostatic chuck using Johnsen-Rahbeck force with high adsorption force, can suppressing a change in surface roughness, by plasma irradiation of halogen gas or the like and can be used for a long time in a plasma device with few changes in a characteristic of the electrostatic chuck.例文帳に追加

本発明の課題は、吸着力の高いジョンセン・ラーベック力を利用した静電チャックで、ハロゲンガス等のプラズマ照射による表面粗さの変化を抑えることができ、静電チャックの特性変化が小さく、プラズマ装置内で長期間使用可能な静電チャックを提供することである。 - 特許庁