LIGA processとは 意味・読み方・使い方

In this application, the contacts are formed by using a so-called LIGA process.例文帳に追加

本発明では、いわゆるＬＩＧＡプロセスを利用して前記接触子を形成する。 - 特許庁

To provide a laser plasma X-ray source device capable of generating an X-ray having a wave length necessary for an LIGA process.例文帳に追加

ＬＩＧＡプロセスに必要な波長のＸ線を発生させることができるレーザープラズマＸ線源装置を提供する。 - 特許庁

A metal mold 32 is formed using the method such as a Ni-electroforming on a matrix 30 formed in a lithography process such as a LIGA process or Si process.例文帳に追加

ＬＩＧＡプロセス、Ｓｉプロセスなどのリソグラフィー工程で作成した母型３０上に、Ｎｉ電鋳などの手法を用いて金型３２を形成する。 - 特許庁

To provide a method for forming a pattern so as to obtain a vertical profile of a resist wall during developing when a thick resist layer is formed by using a photosensitive film in a LIGA (Lithographie, Galvanoformung, Abformung)-like process.例文帳に追加

ＬＩＧＡライクプロセスで感光性フィルムを用いて厚膜レジスト層を形成するとき、現像時のレジスト壁の垂直性を得ることができるパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

In the application, by using a substrate 30 with a plurality recessed line parts 31 formed on a surface, and by using the LIGA process, the contacts are plated and formed on the substrate.例文帳に追加

本発明では、複数の凹型条部３１が表面に形成された基板３０を用い、前記基板上にＬＩＧＡプロセスを利用して、接触子をメッキ成形している。 - 特許庁

To provide a mask which enables molding of three-dimensional shape in microfabrication by an LIGA process and ultraviolet ray lithography, using a simple and convienient method.例文帳に追加

ＬＩＧＡプロセス及び紫外線リソグラフィーによる微細加工において三次元形状の成形を可能にするマスクを簡便な工法で提供する。 - 特許庁

A mold 13 is manufactured in an LIGA process conducting irradiation 7 such as X-ray beam irradiation using asymmetrical reflection with a crystal or X-ray interference fringe beam irradiation with a crystal.例文帳に追加

ＰＭＭＡ等のレジスト材料３に対して高精細Ｘ線マスク、結晶による非対称反射を用いたＸ線ビームの照射、結晶によるＸ線干渉縞ビームの照射等の照射７を行うＬＩＧＡプロセスによりモールド１３を作製する。 - 特許庁