RPHとは 意味・読み方・使い方

In the pretreatment process, RPH (Remote Plasma Hydrogenation) treatment for supplying hydrogen radical onto a substrate is performed (202), RPN (Remote Plasma Nitriding) treatment for supplying nitrogen radical onto the substrate is performed (203), and then RPO (Remote Plasma Oxidation) treatment for supplying oxygen radical onto the substrate is performed (204) in the middle of substrate temperature increment for increasing a substrate temperature to a depositing one.例文帳に追加

前処理工程は、基板温度を成膜温度まで昇温させる基板昇温の途中で、水素ラジカルを基板上に供給するＲＰＨ（リモートプラズマ水素化）処理を行い（２０２）、その後、窒素ラジカルを基板上に供給するＲＰＮ（リモートプラズマ窒化）処理を行い（２０３）、その後、酸素ラジカルを基板上に供給するＲＰＯ（リモートプラズマ酸化）処理を行う（２０４）。 - 特許庁

Since the separate control current sources G1, F11 generate Istim for the electrical behavior and the optical behavior, an optical behavior part 11 formed by parallel connection of the secondary side of the source F11, the secondary side of a current control current source F1, an impedance Rph and a capacitor Cph can be separated electrically from an electrical behavior part 12.例文帳に追加

こうして、電気的挙動用のＩ_STIMと光学的挙動用のＩ_STIMを個別の制御電流源Ｇ1,Ｆ11で生成することによって、電流制御電流源Ｆ11の二次側とＩ_SPを生成する電流制御電流源Ｆ1の二次側とインピーダンスＲphとキャパシタＣphを並列に接続して構成した光学的挙動部１１を、電気的挙動部１２と電気的に分離できる。 - 特許庁