Resistance Heating Evaporation Systemとは 意味・読み方・使い方

To provide an evaporation source in a deposition system, which is easily workable, is low in cost and has an excellent impact resistance by devising the material of the evaporation source for storing a deposition material and that of a cylindrical member constituting a heating apparatus for heating the evaporation source, and to provide the heating apparatus therefor, and a heating and evaporation system for the deposition material.例文帳に追加

成膜材料を収容する蒸発源と、蒸発源を加熱する加熱装置を構成する筒体の材料を工夫して、加工がし易く低コストで耐衝撃性にも優れた成膜装置における蒸発源、その加熱装置、及び成膜材料加熱蒸発装置を提供する。 - 特許庁

To provide an evaporation source container in a vacuum deposition system with which a sublimable vapor deposition material solidified by the heating can stably be heated and evaporated by a resistance heating vapor deposition method without bursting the sublimable vapor deposition material.例文帳に追加

真空蒸着装置において、抵抗加熱蒸着法により昇華性蒸着材料を蒸発源により加熱するに際し、加熱により固形化する昇華性蒸着材料を破裂させることなく、安定良く加熱、蒸発させることが可能となる蒸発源容器を提供する。 - 特許庁