Simsとは 意味・読み方・使い方

This makes it possible to correct a sensitivity change in the vicinity of the gate oxide film owing to a matrix effect in SIMS measurement on the laminated structure with the polysilicon/gate oxide film formed therein.例文帳に追加

これにより、ポリシリコン/ゲート酸化膜が形成された積層構造に対するSIMS測定において、マトリックス効果に起因するゲート酸化膜付近の感度変化を補正することができる。 - 特許庁

To provide an analytical method capable of carrying out precise depth-directional analysis, in distribution analysis of indium or gallium in silicon by a SIMS.例文帳に追加

ＳＩＭＳによるシリコン中のインジウムやガリウムの分布分析において、高精度な深さ方向分析を実現できる方法を提供する。 - 特許庁

The method comprises an analysis process by a TOP-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer).例文帳に追加

ＴＯＦ−ＳＩＭＳ（飛行時間型二次イオン質量分析装置）による分析工程を有するトナーの製造方法。 - 特許庁

To provide a GCIB gun capable of emitting GCIB with a short pulse width short enough to be used for primary ions of TOF-SIMS.例文帳に追加

ＴＯＦ−ＳＩＭＳの一次イオンに使用できるほど短いパルス幅のＧＣＩＢを射出できるＧＣＩＢ銃を提供する。 - 特許庁

The metal contamination by TOF-SIMS on a silicon substrate can be determined accurately by this invention.例文帳に追加

本発明によれば、シリコン基板上のＴＯＦ−ＳＩＭＳによる金属汚染の定量を正確に行うことができる。 - 特許庁

To provide a method for preparing an analytical sample, capable of efficiently and easily providing an analytical sample for SIMS analysis.例文帳に追加

ＳＩＭＳ分析の分析試料を効率よく且つ容易に得ることができる分析試料の作製方法を提供する。 - 特許庁

Subsequently, a concentration profile showing a correlation between a depth from the surface of wafer and the concentration of dopant impurity is measured through an SIMS (secondary ion mass spectroscope).例文帳に追加

つづいてＳＩＭＳを利用して、ウェーハ表面からの深さとドーパント不純物濃度との相関を示す濃度プロファイルを計測する。 - 特許庁

To provide a method of detecting protein that uses TOF-SIMS where non-specific adsorption unique to an organism sample and modifications of the protein are reduced.例文帳に追加

生体試料に固有の非特異吸着や、蛋白質の変成を軽減した、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ法を用いた蛋白質の検出法を提供する。 - 特許庁