Stitching Accuracyとは 意味・読み方・使い方

To measure the accuracy of stitching of shots in a high accuracy.例文帳に追加

高い精度でショットの繋ぎ合わせ精度を測定する。 - 特許庁

The stitching accuracy in the x- and y-directions is measured by means of the stitching accuracy measuring portions C21a, C21b, C22a, and C22b of the mark TM3.例文帳に追加

測定用マークＴＭ３のつなぎ精度測定用部分Ｃ２１ａ，Ｃ２１ｂ，Ｃ２２ａ，Ｃ２２ｂによりｘ，ｙ方向のつなぎ精度が測定される。 - 特許庁

The accuracy defect of the drawing is prevented from affecting the stitching of the pattern transfer by surely avoiding the coincidence of the places where the accuracy of the mask drawing is poor with the places of the stitching of the pattern transfer.例文帳に追加

マスク描画の精度の悪い場所とパターン転写のつなぎの場所を確実に一致させないようにして、描画の精度不良がパターン転写のつなぎに影響を与えないようにする。 - 特許庁

Therefore, the stitching accuracy can be measured by measuring the position of the image 120 of the mark 2 formed inside the image 110 of the mark 1.例文帳に追加

このため、マーク１像の内部に形成されたマーク２像の位置を測定することにより、繋ぎ合わせ精度の測定を行う。 - 特許庁

To provide a process for producing a mask which does not adversely affect the stitching accuracy between the mask stripes an between deflection bands on a wafer.例文帳に追加

ウエハ上におけるマスクストライプ間や偏向帯間のつなぎ合わせ精度に悪影響を与えないパターン転写用マスクの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a mask that is favorable for measurement performed by adding stitching accuracy without increasing the measuring time; and to provide a semiconductor device, a method for measurement, a method of manufacturing semiconductor device, and a program.例文帳に追加

測定時間を増加させることなくつなぎ精度を追加して測定するのに好ましいマスク、半導体装置、測定方法、半導体装置の製造方法およびプログラムを提供する。 - 特許庁

To provide a stencil reticle manufacturing method which is capable of ensuring a stitching margin through a comparatively easy method and improving a pattern connection accuracy and to provide others.例文帳に追加

比較的容易な方法でスティッチングマージンを確保してパターン接続精度を向上させることのできるステンシルレチクル作製方法等を提供する。 - 特許庁