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「Stop%21」を含む例文一覧
該当件数 : 3件
The illumination system has a pulse luminescence type optical source (11), a field stop (21), which is arranged in a position close to the mask and regulates an illumination region on the mask, and a shielding member for shielding a part of light flux passing the field stop.例文帳に追加
照明系は、パルス発光型の光源(11)と、マスクに近接した位置に配置されてマスク上における照明領域を規定するための視野絞り(21)と、視野絞りを通過する光束の一部を遮るための遮光部材とを有する。 - 特許庁
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