U ionsとは 意味・読み方・使い方

As a result, secondary electrons e^-, emitted from an electrode plate 62 by γ discharge are accelerated, in a direction which is opposite to that of the ions in the electric field of an upper ion sheath SH_U and passes through the plasma PR, and further traverses a lower ion sheath SH_L, and is injected into a resist pattern 100 on the surface of a semiconductor wafer W on a susceptor 12.例文帳に追加

そうすると、γ放電によって電極板６２より放出された２次電子ｅ^-は、上部イオンシースＳＨ_Uの電界でイオンとは逆方向に加速されてプラズマＰＲを通り抜け、さらに下部イオンシースＳＨ_Lを横断して、サセプタ１２上の半導体ウエハＷ表面のレジストパターン１００に所定の高エネルギーで打ち込まれる。 - 特許庁

To provide a ferritic stainless steel pipe used as a metallic pipe member of a sheathed heater, which can be used in a warm water environment containing chloride ions, has superior corrosion resistance of a weld zone, has such a superior formability as to be bent into a U-figure shape, and has a superior toughness of the weld zone.例文帳に追加

塩化物イオンを含む温水環境で使用可能な溶接部の耐食性、Ｕ字曲げが可能な優れた加工性、および溶接部の靭性に優れたシーズヒーターの金属パイプ部材用のフェライト系ステンレス鋼管を提供する。 - 特許庁

Since, moreover, the U/V passes outside a safety region on the safety region figure by the Mathieu equation at changing-over of the masses in a step shape, unwanted ions hardly pass the quadrupole mass filter to enable to alleviate damage on the detector.例文帳に追加

また、質量をステップ状に切り替える際にマチウ方程式による安定領域図上でＵ／Ｖが安定領域の外側を通るため、不所望のイオンが四重極質量フィルタを通過しにくくなり検出器のダメージを軽減できる。 - 特許庁