VUV regionとは 意味・読み方・使い方

To enable an ultra-microfabrication exceeding the conventional techniques by using a polymeric material having low absorption in the wavelength region of vacuum ultraviolet radiation (VUV).例文帳に追加

真空紫外線（ＶＵＶ）の波長領域での吸収の低い高分子材料を使用することにより、これまで以上の極微細加工を可能とする。 - 特許庁

A first fluorescent material layer 5 is adhered to the inner face of a wall of a discharge container 2 and can be excited by VUV radiation, and contains UVA component installed to generate electromagnetic radiation in the UVA region.例文帳に追加

第１の蛍光体層５は放電容器２の壁の内面に被着されていて、ＶＵＶ放射により励起可能でありＵＶＡ領域で電磁放射を発生させるために設けられたＵＶＡ成分を含む。 - 特許庁

The mask 8 is further provided with a light shielding part at a part where the overlap margin of the resist pattern 7 and a predetermined region of a substrate to be processed is decreased through shrinkage of the resist pattern 7 due to irradiation with VUV light 9.例文帳に追加

また、マスク８には、ＶＵＶ光９の照射によるレジストパターン７のシュリンクによって、レジストパターン７と被加工基板の所定領域との重なりマージンが小さくなる部分に遮光部が設けられている。 - 特許庁

To provide a method of simply evaluating laser durability of a ferroelectric substance fluoride crystal to laser with a wavelength in the UV/VUV region, and to provide a method of selecting the ferroelectric substance fluoride crystal using the same.例文帳に追加

ＵＶ／ＶＵＶ領域の波長のレーザーに対する強誘電体フッ化物結晶のレーザー耐久性を簡便に評価する評価方法、及び、このレーザー耐久性評価方法による強誘電体フッ化物結晶の選別方法を提供すること - 特許庁