X-ray lithographyとは 意味・読み方・使い方

Such a mirror part 8 is integrally formed by using X-ray lithography and electroforming.例文帳に追加

このようなミラー部８は、Ｘ線リソグラフィと電鋳を用いて一体形成されている。 - 特許庁

To provide a highly accurate X-ray mask or a semiconductor lithography mask.例文帳に追加

高精度のＸ線マスク、あるいは半導体リソグラフィ用マスクを得ることを目的とする。 - 特許庁

The mask 1 for X-ray lithography is used to manufacture the light reflection prevention structure having a light reflection prevention structure by X-ray lithography.例文帳に追加

Ｘ線リソグラフィー用マスク１は、光反射防止構造を有する光反射防止構造体をＸ線リソグラフィーにより製造するためのものである。 - 特許庁

To perform X-ray lithography using a synchrotron radiant light beam while improving the operational efficiency of the entire system.例文帳に追加

シンクロトロン放射光を用いたＸ線リソグラフィーをシステム全体の稼働効率を向上させつつ行なうことを可能とする。 - 特許庁

A type of irradiated substance is discriminated by measuring an X-ray stimulated from the test piece for receiving electron beam irradiation during lithographing by the electron beam lithography apparatus.例文帳に追加

電子線描画装置の描画中に、電子線照射を受けた試料が放出するＸ線を測定して、照射物質の種類を判別する。 - 特許庁

Continuously, the resist layer 16 is patterned by X ray lithography, and a recessed part 17 opened on an upper surface is formed on the substrate 8.例文帳に追加

続いて、Ｘ線リソグラフィによってレジスト層１６をパターンニングし、基板８上に、上面に開口する凹部１７を形成する。 - 特許庁

To enable an ultra-fine element structure to be manufactured by a lithography method and an ion etching method by manufacturing an electron beam aligner with a linear high density electron beam source or an X-ray aligner with a linear high brightness X-ray source.例文帳に追加

線状高密度電子線源を有する電子線露光装置、あるいは、線状高輝度Ｘ線源を有するＸ線露光装置を作製することにより、超微細な素子構造を、リソグラフィ法およびイオンエッチング法により作製可能とすること。 - 特許庁

To provide a point-diffraction interferometer capable of inspecting surface quality of an extreme ultraviolet lithography optical system using a high-order harmonic X-ray source with excellent coherence.例文帳に追加

干渉性が優秀な高次高調波エックス線光源を利用して超紫外線リソグラフィー用光学系の表面品質を検査できるエックス線干渉計測装置を提供する。 - 特許庁