Z-scaleとは 意味・読み方・使い方

Light toward a Z-phase transmission window 10 of the semiconductor substrate 4 from the point light source 2 bypasses the diffuser 5, passes the window 10 directly, and is reflected by a Z-phase reflecting grating 12 of the scale plate 3, and received by a Z-phase light receiving element 8 of the semiconductor substrate 4.例文帳に追加

点光源２から半導体基板４のＺ相用透過窓１０に向かう光は拡散板５を通ることなく直接に当該窓１０を通りスケール板３のＺ相用反射格子１２で反射され、半導体基板４のＺ相用受光素子８で受光される。 - 特許庁

A plurality of Z heads 76, 74 are arranged parallel to a X axis, on +X, -X sides of a projection unit PU at an interval WD less than half of an effective width of Y scale so that a pair of each two Z heads always are opposed to a pair of Y scale (reflective surface) on a wafer stage.例文帳に追加

投影ユニットＰＵの＋Ｘ，−Ｘ側にそれぞれ複数のＺヘッド７６，７４が、常時各２つのＺヘッドが対になってウエハステージ上の一対のＹスケール（反射面）に対向するように、Ｘ軸と平行に、Ｙスケールの有効幅の半分以下の間隔ＷＤで配列されている。 - 特許庁

To provide a method for easily and efficiently producing a fluorine-containing propene represented by the general formula: CF_3CH=CHZ (wherein, Z is Cl or F), compatible also with industrial-scale production.例文帳に追加

工業的スケールにも対応できる、簡便かつ効率的な、一般式：CF_3CH=CHZ (式中、ZはCl又はFである。）で表される含フッ素プロペンの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a triaxial acceleration sensor by which a precise acceleration in the three-dimensional direction such as the X-axis, Y-axis and Z-axis directions can be sensed although its circuit constitution is on a small scale and to provide a correction method for its Z-axis dependence.例文帳に追加

小規模な回路構成であるにも拘わらず、Ｘ、Ｙ及びＺ軸方向といった３次元方向の正確な加速度を検出できる３軸加速度センサ及びそのＺ軸依存性の補正方法を提供する。 - 特許庁

The up and down positions of the base of the graphic Z indicate a musical scale (a note number N1), the left and right positions indicate playing timing t1 to t2 and a height Von of the graphic Z indicates a playing strength (a velocity).例文帳に追加

音符図形Ｚの底辺の上下位置は、音階（ノートナンバーＮ１）を示し、左右位置は演奏タイミングｔ１〜ｔ２を示し、音符図形Ｚの高さＶonは、演奏強度（ベロシティー）を示す。 - 特許庁

Based on the digital data X, Y, and Z, the electronic music instrument 100 varies the musical scale, volume, and frequency characteristics of the sound by means of a musical scale variation part 4, a volume variation part 5, and a frequency characteristic variation part 6.例文帳に追加

電子楽器１００は、このデジタルデータＸ，Ｙ，Ｚに基づいて、音階変化部４、音量変化部５、周波数特性変化部６によって音の音階、音量、周波数特性を変化させる。 - 特許庁

A large capacity bottomless box-shaped container is disposed on a sea bed, and a 500 meter deep sea tower with its upper end opened to the atmosphere and its bottom part having a large scale large amount air generation device Y, Z is provided to the upper part of the container to supply air from the air generation device Y, Z to the box-shaped container.例文帳に追加

海底に大容量の底なし箱形容器を設置し、容器の上部に上端部が大気開放され、底部に大規模な大量空気発生装置Ｙ、Ｚを備えた水深５００ｍの深海塔を設け空気発生装置Ｙ、Ｚから箱形容器内へ空気の供給を行う。 - 特許庁

A measurement beam LB is projected on a measurement surface (scale) 39Y_2 provided partially on an upper surface of a stage WST from a Z head 72a, and a reflected beam from the measurement surface is received to measure Z-axial surface position information on the measurement surface at a projection point of the measurement beam LB.例文帳に追加

Ｚヘッド７２ａからステージＷＳＴの上面の一部に設けられた計測面（スケール）３９Ｙ_2に計測ビームＬＢを投射し、その計測面からの反射ビームを受光して、計測ビームＬＢの投射点における計測面のＺ軸方向に関する面位置情報を計測する。 - 特許庁