absorbed Si surfaceとは 意味・読み方・使い方

Secondly, a DCS is supplied in the reactive tube 2, and an Si is absorbed to the nitrided surface of the semionductor wafer W.例文帳に追加

次に、反応管２内にＤＣＳを供給し、窒化された半導体ウエハＷの表面にＳｉを吸着させる。 - 特許庁

The control means 121 supplies the Si-based gas to the wafer 200 in the treatment chamber 201 to cause the wafer to absorb a first material, and supplies the oxidized gas to generate an O radical and an OH radical so that the radicals may perform an oxidation reaction on the surface of the wafer having absorbed the first material, thereby forming an oxidized film on the wafer 200.例文帳に追加

制御手段１２１により、処理室２０１内のウェハ２００に対してＳｉ系ガスを供給して第１の原料をウェハ上に吸着させ、酸化性ガスを供給してＯラジカルとＯＨラジカルを発生させ、これらのラジカルにより、第１の原料が吸着したウェハ表面で酸化反応を行わせ、ウェハ２００上に酸化膜を形成するようにする。 - 特許庁