backward scatterとは 意味・読み方・使い方

Thereafter, the sum of forward scatter intensity and backward scatter intensity at an evaluation point is evaluated by using adjacent pattern information and the obtained backward scatter intensity, and a movement amount of a side of a pattern is calculated.例文帳に追加

次に、隣接パターン情報と得られた後方散乱強度を用いて、評価点における前方散乱強度と後方散乱強度の和を評価し、パターンの辺の移動量を計算する。 - 特許庁

METHOD OF MICROSCOPIC MACHINING IN NANO-ORDER FOR TRANSPARENT MATERIAL BY BACKWARD INDUCED SCATTER BEAM AND MACHINING DEVICE例文帳に追加

後方誘導散乱光を用いた透明材料のナノオーダ微細加工方法及び加工装置 - 特許庁

To provide a light diffuser in which, while backward scatter of light is minimized, light diffusibility is ensured, and thin filming is achieved.例文帳に追加

光の後方散乱を少なく抑えながら光拡散性を確保することができ、かつ薄膜化を図ることができる光拡散体 - 特許庁

The intensity computation is performed on a forward scatter term and a backward scatter term of an exposure intensity distribution function, the proximity effect is corrected by varying the size of a mask pattern so that the width of an exposure intensity distribution of specific energy intensity becomes equal to design size, and an area density method is used for the backward scatter intensity computation.例文帳に追加

露光強度分布関数における前方散乱項及び後方散乱項の強度計算を行い、所定のエネルギー強度における露光強度分布の幅が設計寸法と一致するようにマスクパターンの寸法を変更して近接効果補正を行うこと、また、後方散乱強度計算に面積密度法を用いることを特徴とする。 - 特許庁

Then, a pattern is registered by dividing an objective region hierarchically, and backward scatter intensity in an evaluation point on a pattern is calculated by using the information.例文帳に追加

次に、対象領域を階層的に分割してパターンを登録し、その情報を用いてパターン上の評価点における後方散乱強度を計算する。 - 特許庁

To rapidly and highly precisely calculate influence of backward scatter by rapidly searching an adjacent pattern, in a range wherein forward scatters overlap mutually when exposure data are corrected for preparing a mask or a reticle for exposure.例文帳に追加

露光用のマスクまたはレチクルを作製するための露光データを補正する際、前方散乱同士が重なる範囲の隣接パターンを高速に探索し、後方散乱の影響を高速かつ高精度に計算する。 - 特許庁

Accordingly, as light made incident on the liq. crystal cell 2 in scattering state of the liq. crystal cell 2 scatter and forward scattered light in addition to the backward scattered light is reflected by the mirror reflecting layer 13, white like a white paper, so-called white display of paper white, is obtained.例文帳に追加

従って、液晶セル２が散乱状態のときに、液晶セル２に入射した光が散乱し、その後方散乱光に加えて、前方散乱光が鏡面反射層１３で反射されるので、白紙のように白い所謂ペーパーホワイトの白表示が得られる。 - 特許庁