cyclic exposureとは 意味・読み方・使い方

The polymer compound for the photoresist for immersion exposure contains a monomer unit containing a cyclic ether skeleton.例文帳に追加

環状エーテル骨格を含むモノマー単位を含む液浸露光用フォトレジスト用高分子化合物。 - 特許庁

Two projection lenses are provided on the same surface plate to independently perform two exposures, that is, a cyclic pattern exposure referring to dual-beam flux interference exposure and an ordinary pattern exposure, excluding the cyclic pattern exposure, a mask for each of exposures is provided respectively, and then the respective exposures are performed by a unit of wafer and the wafer is exchanged within a short time.例文帳に追加

同一定盤上に、二光束干渉露光に代表される周期パターン露光と周期パターン露光を含まない通常パターン露光の２つの露光を独立可能とする投影レンズを２本設け、さらに、各露光用のマスクを各々設けて、各露光をウエハ単位で露光処理し、短時間にウエハ交換する。 - 特許庁

This can accurately detect the unevenness of exposure by a cyclic stripe pattern caused by the unevenness of exposure when the exposure start timing of adjacent odd/even lines is largely out of misalignment and the unevenness of exposure results from the other flash firing or the like occurs in one frame image (step S24).例文帳に追加

これにより、隣接する奇数／偶数ラインの露光開始タイミングが大きくずれ、他者のフラッシュ発光等に起因する露光ムラが１フレームの画像に発生する場合には、その露光ムラは周期的な縞模様になるため、露光ムラを精度よく検出することができる（ステップＳ２４）。 - 特許庁

To provide a gas laser device for highly cyclic exposure reduced in damage to an optical element such as a light exposure device and in deterioration of laser beam quality influenced by acoustic waves.例文帳に追加

露光装置等の光学素子へ与えるダメージが小さく、しかも、音響波の影響によるレーザビーム品質の劣化が小さい高繰り返しの露光用ガスレーザ装置を提供する。 - 特許庁

The lithographic printing original plate has on a support an underlayer formed by applying a coating liquid prepared by dissolving a water-insoluble but alkali-soluble resin, a cyclic acid anhydride and carboxylic acids in an organic solvent, and a positive recording layer containing an alkali-soluble resin and a development inhibitor and having solubility in an alkaline aqueous solution increased by exposure.例文帳に追加

支持体上に、水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂、環状酸無水物及びカルボン酸類を有機溶剤に溶解した塗布液を塗布することで形成された下層、及び、アルカリ可溶性樹脂及び現像抑制剤を含有し、露光によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増大するポジ型記録層を、有することを特徴とする。 - 特許庁

A protective film having the following properties of: being transparent with respect to exposure light; having substantially no compatibility with the liquid in which the resist film used is immersed; and causing no mixing with the resist film is formed on a surface of the resist film by using a composition containing a cyclic perfluoroalkyl polyether as a perfluoroalkyl polyether.例文帳に追加

パーフルオロアルキルポリエーテルとして環式パーフルオロアルキルポリエーテルを含有する組成物を用いて、使用するレジスト膜の表面に、露光光に透明で、レジスト膜を浸漬させる液体に対して実質的に相溶性を持たず、かつレジスト膜との間でミキシングを生じない特性を有する保護膜を形成する。 - 特許庁

To provide a film or a sheet suffering from no thermal deterioration, exhibiting reduced birefringence and useful for an optical material, which is made of a composition comprising a cyclic olefin addition polymer, mainly composed of a norbornene monomer and exhibiting excellent optical characteristics and very excellent heat resistance, and is manufactured by exposure to a specific solvent atmosphere.例文帳に追加

光学特性に優れかつ非常に優れた耐熱性を有する、ノルボルネン系単量体を主原料とした環状オレフィン系付加重合体を含む組成物からなり、特定の溶媒雰囲気下に曝すことにより製造され、熱劣化を受けずに複屈折が低減された、光学材料用に有用なフィルムまたはシートを提供する。 - 特許庁