definitive elementとは 意味・読み方・使い方

A seal member 4 is arranged between the definitive element of a projection system PL and the surface of a substrate W, thereby a space 2 is defined.例文帳に追加

シール部材４は、投影システムＰＬの最終要素と基板Ｗの表面の間に配置され、それによってスペース２が画定される。 - 特許庁

To provide an effective seal for sealing liquid in a space between a definitive element of a projection system and the surface of a substrate by immersing the substrate in a liquid having a comparatively large index of refraction in a lithography projection apparatus.例文帳に追加

リソグラフィ投影機器内で、水などの比較的屈折率が大きい液体中に基板を浸して、投影システムの最終要素と基板表面の間のスペースに液体を閉じ込めるための効果的なシールを提供する。 - 特許庁

There is provided a lithographic projection apparatus in which a liquid is filled, in at least a part of a space between the definitive element of a projection system and a substrate by a liquid supply system.例文帳に追加

本発明によれば、液体供給システムによって、投影システムの最終要素と基板との間の空間の少なくとも一部に液体が充填されるリソグラフィ投影装置が提供される。 - 特許庁