ex-situ processとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR MONITORING AND OPTIMIZING PROCESS IN-SITU, EX-SITU AND IN-LINE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR例文帳に追加

ｉｎ−Ｓｉｔｕ、ｅｘ−Ｓｉｔｕ、及びインラインでのプロセスのモニタリング、最適化、及び製造方法 - 特許庁

To provide a method for monitoring and optimizing a process related to a semiconductor device and its components in-situ, ex-situ and in-line.例文帳に追加

半導体デバイス及びその構成要素に係るプロセスをｉｎ−ｓｉｔｕ、ｅｘ−ｓｉｔｕ、及びインラインでモニター及び最適化する方法 - 特許庁

Using measuring information (for example, critical dimensions (CD), layer thickness) provided ex-situ on the etch process combining with in-situ monitoring (for example, spectroscopic, interference measurement, scattering measurement, and reflectivity measurement) which is performed during the etch process, the etch process may be monitored.例文帳に追加

エッチング処理の間に実施されたインサイチューモニタリング（例えば、分光、干渉計測、散乱計測、反射率計測など）と組合せて、エッチング処理に対してエクスサイチューで提供された測定情報（例えば、限界寸法（ＣＤ）、層の厚さなど）を用いて、エッチング処理がモニタリングされても良い。 - 特許庁

Using the ex-situ measuring information combining with the in-situ monitoring, for example, an end point of the etch process, an etch depth profile of a feature formed on a substrate, and fault detection in a manufacturing process of the integrated circuit may be monitored.例文帳に追加

インサイチューモニタリングと組合せてエクスサイチュー測定情報を使って、例えば、エッチング処理の終点、基板上に形成された外観のエッチング深度プロフィール、集積回路製造プロセスの欠陥検出などをモニタリングしても良い。 - 特許庁