icallyとは 意味・読み方・使い方

To provide a method and a device for charged particle beam alignment, which can more precisely grasp the cleaning time period ically of the device, and can avoid the degradation of resolution and the increase of beam deflection distortion.例文帳に追加

装置の洗浄時期（定期）をより正確に把握することができ、解像度の低下やビーム偏向歪みの増大等を回避することができる荷電粒子ビーム露光方法ならびに荷電粒子ビーム露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide a measuring system for the excavation position of a shield machine, by which the excavation position of the shield machine can be automat ically measured and by which the excavation position of the shield machine can be measured without performing a rebanking operation, when a curve section is excavated in the excavation of a curved tunnel.例文帳に追加

自動でシールドマシーンの掘進位置の計測ができ、曲線トンネル掘進の際のカーブ区間を掘進する場合に、盛替えを行わずにシールドマシーンの掘進位置を計測することができるシールドマシーンの掘進位置計測システムを提供すること。 - 特許庁