intermixingとは 意味・読み方・使い方

To provide an antireflection film for lithography having a high antireflection effect, causing no intermixing with a photoresist layer, having a high dry etching rate compared to the photoresist and giving a wide focus depth margin.例文帳に追加

反射光防止効果が高く、フォトレジスト層とのインターミキシングが起こらず、フォトレジストに比較して大きなドライエッチング速度を有し、広いフォーカス深度マージンを与える、リソグラフィー用反射防止膜を提供すること。 - 特許庁

To provide a composition for the formation of an antireflection film having a high antireflection effect, free from intermixing with a resist layer, and usable for the lithographic process using irradiation light of a F2 excimer laser (at 157 nm wavelength).例文帳に追加

反射光防止効果が高く、レジスト層とのインターミキシングを起こさない、Ｆ２エキシマレーザー（波長１５７ｎｍ）の照射光を用いたリソグラフィープロセスにおいて使用できる反射防止膜形成組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a composition for the formation of an antireflection film which has a high antireflection effect, causes no intermixing with a resist layer and can be used in lithographic processes using irradiation light of ArF excimer laser (at 193 nm wavelength).例文帳に追加

反射光防止効果が高く、レジスト層とのインターミキシングを起こさない、ArFエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）の照射光を用いたリソグラフィープロセスにおいて使用できる反射防止膜形成組成物の提供。 - 特許庁

To provide a composition for formation of an antireflection film having a high antireflection effect, causing no intermixing, and capable of forming a resist pattern excellent in resolution, accuracy or the like, and to provide an antireflection film formed from the composition.例文帳に追加

反射防止効果が高く、インターミキシングを生じることがなく、解像度および精度などに優れたレジストパターンを形成しうる反射防止膜形成組成物およびそれから形成された反射防止膜を提供すること。 - 特許庁

The high surface energy of the well bottom 112 and sidewall surfaces 122 facilitates wetting of the ink drop 255, and the low surface energy of the hydrophobic layers 140 prevents intermixing of ink drop 255 between adjacent wells.例文帳に追加

表面エネルギが高いウェル底１１２や壁側面１２２がインク滴２５５を吸い寄せるのに対し、表面エネルギが低い疎水層１４０はインク滴２５５をはじくので、隣接ウェル間インク混合を防ぐことができる。 - 特許庁

To provide a glass for semiconductor package in which intermixing of platinum granules can be supressed, and provide a glass usable for semiconductor package of a solid-state imaging element, etc.例文帳に追加

白金ブツのガラスへの混入が抑制できる半導体パッケージ用ガラス、及び固体撮像素子等の半導体パッケージ用として有用なガラスを提供すること。 - 特許庁

To provide a resin composition for producing a biochip which can form a resin composition layer preventing intermixing with other layers, and a method for producing a biochip utilizing the same.例文帳に追加

他層とのインターミキシングを防止できる樹脂組成物層を形成できるバイオチップを製造するための樹脂組成物及びこれを用いたバイオチップの製造方法を提供する。 - 特許庁

In the arbor growing bed 8, a continuous bag group 9 with a width of 10-30 cm comprising a plurality of bag parts 12a filled with artificial soil not intermixing seeds is placed on a base mat 6 of felt.例文帳に追加

木本生育床８では、フェルトのベースマット６の上に種子を混入させない人工土壌が装填された複数の袋部１２ａからなる１０ないし３０センチメートル幅の連袋群９が載せられる。 - 特許庁