rare gas complexとは 意味・読み方・使い方

METAL COMPLEX AND METHOD FOR RECOVERING RARE GAS BY USING THE SAME例文帳に追加

金属錯体およびそれを用いる希ガスの回収方法 - 特許庁

With rare earth or aluminum β-diketonate metal complex as raw material, a thermal decomposition chemical gas phase precipitation equipment 1 forms a metal oxide film for the gate part of the FET on a substrate by a thermal decomposition chemical gas phase precipitation method.例文帳に追加

希土類若しくはアルミニウムのβ−ジケトネート金属錯体を原料とし、熱分解化学気相析出装置１において、熱分解化学気相析出法によって基板上に電界効果型トランジスタのゲート部用金属酸化物膜を形成する。 - 特許庁

In the manufacturing method of the semiconductor device in which the gate insulation film is formed on a silicon single crystal substrate for the gate insulation film, an oxide layer is formed by an organic metal chemical vapor deposition method using a gaseous mixture having an oxidizing gas and an organic metal gas composed of the cyclopentadienyl complex of elements composed of one or more kinds of Ln (Ln is rare earth element).例文帳に追加

本発明は、シリコン単結晶基板上に、ゲート絶縁膜を形成する半導体装置の製造法において、前記ゲート絶縁膜を、Ｌｎ（Ｌｎは希土類元素）の１種類以上からなる元素のシクロペンタジエニル錯体からなる有機金属ガスと酸化性ガスとを有する混合ガスを用いた有機金属化学気相成長法によって酸化物層を形成することを特徴とする。 - 特許庁