rare gas matrixとは 意味・読み方・使い方

A corrosion resistance to halogen group corrosive gas and its plasma, a high heat conductivity and a high strength of the AlN being the matrix phase are not decreased since the rare earth elements-containing carbon compound does not substantially exist at the matrix phase.例文帳に追加

希土類元素含有炭素化合物はマトリックス相に実質的に存在しないので、マトリックス相であるＡｌＮのハロゲン系腐食性ガス及びそのプラズマに対する耐食性や高熱伝導性や高強度を低下させることがない。 - 特許庁

In this example, reactive chemical species are made of fluorocarbon or other fluorine-contained gases as trace constituents added to hose argon matrix by rare gas plasma.例文帳に追加

この例では、これら反応性化学種は、希ガスプラズマによって、ホースアルゴンマトリックスに添加された微量成分としてのフルオロカーボン又は他のフッ素含有ガスから作られる。 - 特許庁