spinlessとは 意味・読み方・使い方

The substrate W having a coating film formed on the surface thereof by the so-called spinless coating is placed and held on a hot plate 6.例文帳に追加

いわゆるスピンレスコートにより基板表面に塗布膜が形成された基板Ｗがホットプレート６上に載置保持される。 - 特許庁

By the spinless coating method, coating on a large-scale substrate in a uniform thickness is made possible and defects can be minimized.例文帳に追加

これにより、スピンレスコーティング方法により大型基板に均一な厚さコーティングされることができ、欠陥が最小化されることができる。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition suitable for forming a resin film on a large substrate by a spinless slit coat method.例文帳に追加

スピンレススリットコート法によって大型基板に樹脂膜を形成するのに適した感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To shorten remarkably a tact time for processing operation of supplying processing liquid to a substrate to be processed or applying the same on the substrate to be processed through spinless system.例文帳に追加

スピンレス方式で被処理基板上に処理液を供給ないし塗布する処理動作のタクトタイムを大幅に短縮すること。 - 特許庁

To provide a bellows pump for applying a resist liquid by a spinless method and capable of easily exchanging a member for sealing a drive member.例文帳に追加

駆動部材をシールする部材の交換等が容易なスピンレス法によりレジスト液を塗布するベローズポンプを提供する。 - 特許庁

To provide a colored photosensitive resin composition having favorable coating property even when the composition is used for a liquid-saving coating machine such as a spinless coating machine.例文帳に追加

スピンレスコーターなどの省液コーターに用いても塗布性良好な着色感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

In the radiation sensitive resin composition for spinless slit coat containing an alkali-soluble novolac resin and a photosensitizing agent, a viscosity at 25°C is set to 2-7 mPa s.例文帳に追加

アルカリ可溶性ノボラック樹脂と感光剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、２５℃での粘度が２〜７ｍＰａ・ｓであることを特徴とするスピンレススリットコート用感放射線性樹脂組成物。 - 特許庁

To provide a spinless type coating method and apparatus capable of stably performing the thickness control of a coating film, particularly the uniformalization of film thickness at the coating scanning terminal part with an excellent reproducibility.例文帳に追加

塗布膜の膜厚制御、特に塗布走査終端部の膜厚均一化を安定した動作で再現性よく行えるスピンレス方式の塗布方法および塗布装置を提供する。 - 特許庁