かくとくひまくの英語

成膜装置において、成膜中の薄膜の物理量を測定する物理量測定素子と、前記薄膜の物理量と所望の物理量とを比較する比較部と、前記比較部の比較結果に基づいて成膜条件及び／または成膜時間を制御する制御部とを備えることを特徴とする。例文帳に追加

A film deposition system includes: a physical quantity measurement element for measuring a physical quantity of the thin film during deposition; a comparison section for comparing the physical quantity of the thin film with the desired physical quantity; and a control section for controlling a film deposition condition and/or film deposition time based on the compared result of the comparison section. - 特許庁

被処理基板上にＣｕ膜を成膜する成膜方法であって、前記被処理基板上に形成されたＣｕ拡散防止膜上に密着膜を形成する第１の工程と、前記密着膜上にＣｕ膜を成膜する第２の工程と、を有し、前記密着膜はＰｄを含むことを特徴とする成膜方法。例文帳に追加

A film formation method for forming a Cu film on a substrate to be treated comprises a first process of forming a contact film on the Cu diffusion prevention film formed on the substrate to be treated, and a second process of forming the Cu film on the contact film containing Pd. - 特許庁

薄膜の膜厚、特に極薄薄膜の膜厚を正確に測定でき、また、アスペクトレシオの大きなコンタクトホール内部にある薄膜の膜厚も測定でき、複数の膜からなる多層膜の最表面の膜厚も測定できる膜厚測定装置および膜厚測定方法をを提供する。例文帳に追加

To provide a method and apparatus for measuring the thickness of a thin film, especially of an extremely thin film, accurately in which the thickness of a thin film in a contact hole having a high aspect ratio and the thickness of the uppermost film of a multiplayer film can also be measured. - 特許庁

薄いフィルムのダイヤモンド被膜は比較的低いメタン濃度で比較的ゆっくりと形成されラマン分光写真特性によって確認される。例文帳に追加

This thin diamond film is relatively slowly deposited at a relatively low methane concentration and is confirmed by Raman spectrographic characteristics. - 特許庁

基材上に少なくとも２枚の偏光膜を有し、各偏光膜の偏光軸は略平行に位置することを特徴とする偏光レンズ。例文帳に追加

The polarizing lens has at least two polarizing films on a substrate, with polarization axes of the polarizing films located almost in parallel with one another. - 特許庁

その後各波長ごとの相互比率を求め，予め取得していた膜厚−干渉比特性と比較して，測定対象物３１の薄膜層の膜厚を推定する。例文帳に追加

Then, a mutual ratio in each wavelength is determined and compared with a film thickness-interference ratio characteristic acquired beforehand, to thereby estimate the film thickness of the thin film layer of the measuring object 31. - 特許庁

選択肢特定部５００は、字幕処理部３００が標準機能で復号可能な標準字幕と、アプリ処理部９００がデータ放送から取得可能な文字拡張アプリケーションを実行することで字幕処理部３００が復号可能になる拡張字幕と、を表示可能な字幕として特定する。例文帳に追加

An option specifying unit 500 specifies, as displayable subtitles, the standard subtitles that are decodable by a subtitle processing unit 300 with standard functions and the expanded subtitles that are decodable by the subtitle processing unit 300 with character expansion applications obtained from data broadcasting and executed by an application processing unit 900. - 特許庁

集束イオンビーム装置を用いて比較的容易に超伝導特性が得られる膜超電導膜（超電導体）の成膜を可能にする。例文帳に追加

To deposit a super-conductive film (a super-conductor) for obtaining super-conductive characteristic in a relatively easy manner by using a focused ion beam (FIB) apparatus. - 特許庁