しびらき２ちょうめの英語

成膜チャンバー１０内に収容されている部材及び機器（ターゲット保持・制御部２、シールド板３、基板ホルダー５、ステージ６、及び補正板７など）の少なくとも一部に、目開きが５０〜１０００メッシュで、伸長度が５．０％以上のメッシュスクリーン９を取り付ける。例文帳に追加

A mesh screen 9 having 50-1,000 mesh aperture and ≥5.0% elongation is attached to at least a part of the members and equipment (a target holding/controlling part 2, a shield plate 3, a substrate holder 5, a stage 6, a compensator 7, etc.), held in the film deposition chamber 10. - 特許庁

床３の集塵装置１であって、室内の壁２と接する床３の隅部に沿って集塵用の連続した溝４が設けられ、該溝４の上は室内空間または床面にある塵埃が落下可能な孔開きの蓋板５で覆われていることを特徴としている。例文帳に追加

This dust collector 1 for the floor 3 is characterized as follows: a continuous groove 4 for collecting dust is provided along a corner of the floor 3 which is brought into contact with an indoor wall 2; and a section on the groove 4 is covered with a cover plate 5 with drilled holes into which the dust in an indoor space or on a floor surface can fall. - 特許庁