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アルゴン媒介のの英語
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英訳・英語 argon-mediated
「アルゴン媒介の」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
これはステージ14で半導体基板15を冷却するために、ステージ14上に刻まれたチャネル17にガス配管18を通して冷却媒介用のガス、例えばヘリウム、アルゴン等の不活性ガスを流す。例文帳に追加
In order to cool a semiconductor substrate 15 with the stage 14, inert gas for cooling medium such as helium and argon is made to flow through a gas piping 18 to a channel 17 notched on the stage 14. - 特許庁
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