イオンビームの発生の英語

質量分離装置、イオンビーム発生装置、機能素子、機能素子の製造方法およびイオンビーム発生方法例文帳に追加

MASS SEPARATION DEVICE, ION BEAM GENERATING DEVICE, FUNCTION ELEMENT, MANUFACTURING METHOD OF FUNCTION ELEMENT, AND ION BEAM GENERATION METHOD - 特許庁

より低出力の電力で効率的に負イオンビームを発生させる。例文帳に追加

To efficiently generate a negative ion beam with lower output power. - 特許庁

所望のイオン電流のイオンビームを安定して発生できる集束イオンビーム装置を提供する。例文帳に追加

To provide a focusing ion beam device capable of stably generating an ion beam of the desired ion current. - 特許庁

このイオンビーム照射装置は、プラズマ発生装置２４と、その下流側に設けられたイオンビーム電流測定装置３０とを備えている。例文帳に追加

The ion beam irradiation device is provided with a plasma generating device 24 and an ion beam current measurement device 30 fitted at its downstream side. - 特許庁

装置全体を大きくすることなく、基板への入射イオンビームの均一性を図ったイオンビーム発生装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ion beam generator which achieves uniformity of incident ion beam on a substrate without increasing the size of the whole generator. - 特許庁

電磁界を発生させずにイオンビームの軌道を制御するイオンビーム軌道制御装置を提供する。例文帳に追加

To provide an ion beam path control device capable of controlling the path of ion beams without generating an electromagnetic field. - 特許庁

イオンビーム１がプラテン２上のウエハ３に照射される前に、最適なイオンビーム電流値を直流電流発生器６により発生した電流値（積算値）のみを、イオンビーム電流計測部４で計測する。例文帳に追加

Optimized ion beam current and the current (accumulated value) generated by the direct current generator are measured in an ion beam current measuring part 4 before radiation of the ion beam 1 upon the wafer 3 placed on the platen 2. - 特許庁

したがって、イオンビーム発生部８からのイオンビームＩＢは開閉機構１１で遮断されるため、イオンビームＩＢがターゲットチャンバ１６内のビームストップ２０に打ち込まれてパーティクルが発生することは無い。例文帳に追加

Since an ion beam IB from an ion generation part 8 is thus blocked by the open-close mechanism 11, the ion beam IB is implanted into a beam stop 20 in a target chamber 16, so that no particle is produced. - 特許庁