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イドクーの英語
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「イドクー」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
筐体内1に搭載された、ダウンクーリングユニット9、バッファクーリングユニット11およびサイドクーリングユニット12の、各ユニットにクリーンエアがバランスよく供給されるように、複数の独立したクリーンエア流れを形成し、各クリーンエア流れに対してそれぞれ個別の空気供給口21,22を設けた。例文帳に追加
This substrate treatment apparatus is provided with individual air supply ports 21, 22 for a plurality of independent clean air flows formed so as to make well balanced clean air flow to each unit of a down-cooling unit 9, buffer cooling unit 11 and side cooling unit 12 mounted in a cabinet 1. - 特許庁
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