エタロン分光器の英語

複光路２重エタロン分光器例文帳に追加

DOUBLE OPTICAL PASS DOUBLE-ETALON SPECTROSCOPE - 特許庁

したがってエタロン分光器３２からはコンボリューション処理後のスペクトル波形ｆ（λ）が出力される。例文帳に追加

The etalon spectroscope 32, therefore, outputs a spectrum waveform f (λ) after the convolution processing. - 特許庁

エタロン分光器３２によってレーザ光のスペクトル波形を計測する際には、入射したレーザ光のスペクトル波形ｇ（λ）に対して装置関数ｈ（λ）を用いたコンボリューション処理が施される。例文帳に追加

When an etalon spectroscope 32 measures the spectrum wavelength of laser light, convolution processing is performed which uses a device function (λ) for the spectrum waveform g (λ) of the incident light. - 特許庁

掃引型エタロン３を透過した光は、ＮＤフィルタ１０で減光された後、分光器６で測定対象以外の光周波数成分の光が減衰され、光検出器７で電気信号に変換され、信号増幅器８で増幅された後、波形表示装置９で時間変化が表示される。例文帳に追加

The light passing the sweep type etalon 3 is attenuated by an ND filter 10, and then the light of a light frequency component other than to be measured is attenuated by a spectroscope 6, converted into an electric signal by a light detector 7 and amplified by a signal amplifier 8, whereby a time change is displayed at a waveform display device 9. - 特許庁

通常のレーザ運転前に、エタロン分光器３２で計測されるスペクトル波形ｆ（λ）の線幅閾値Thresuにおけるスペクトル線幅Ｗと、レーザ光の真のスペクトル波形ｇ（λ）のスペクトル線幅Ｗやスペクトル純度Ｅ９５と、の相関が予め求められ、記憶部４１に記憶される。例文帳に追加

Prior to a general laser operation, the correlation between a spectral line width W in a line width threshold Thresu of a spectral waveform f(λ) measured by an etalon spectrometer 32 and the spectral line width W or spectral purity E95 of a true spectral waveform g(λ) of laser beam is preliminarily determined, and stored in a storage part 41. - 特許庁

そして、半導体露光処理等のような通常のレーザ運転時に、エタロン分光器３２で計測されるスペクトル波形ｆ（λ）の線幅閾値Thresuにおけるスペクトル線幅Ｗと、予め求めた相関とを用いて、スペクトル線幅Ｗに対応するスペクトル線幅Ｗやスペクトル純度Ｅ９５やコントラストロスＣＬが求められる。例文帳に追加

At the time of the general laser operation such as a semiconductor exposing treatment, the spectral line width W, spectral purity E95 or contrast loss LC corresponding to the spectral line width in the line width threshold Thresu of the spectral waveform f(λ) measured by the etalon spectrometer 32 is determined by use of this spectral line width and the predetermined correlation. - 特許庁