ガスモニタリングの英語

化学兵器剤の一種であるジフェニルシアノアルシン（ＤＣ）やジフェニルクロロアルシン（ＤＡ）の実時間検出が可能なガスモニタリング装置を提供する。例文帳に追加

To provide a gas monitoring apparatus which performs real-time detection of diphenylcyanoarsine (DC) and/or diphenylchloroarsine (DA), which are kinds of chemical warfare agent. - 特許庁

原料ガスを供給するガス供給手段と、前記原料ガスを化学反応によって成膜する成膜室と、成膜室内の原料ガスを排気するための排気手段とからなる半導体の表面上に薄膜を成膜するための装置において、前記成膜室と前記排気手段の間にガスモニタリング手段を設けた。例文帳に追加

The system for depositing a thin film on the surface of a semiconductor comprises a means for supplying a material gas, a chamber for depositing a film through the chemical reaction of the material gas, and a means for exhausting the material gas in the film deposition chamber wherein a gas monitoring means is provided between the film deposition chamber and the exhausting means. - 特許庁

廃棄する焼却炉を解体する設備の環境を監視する廃棄炉の解体監視システムであって、解体設備１００内の有害物質濃度をサンプリング配管１０１を介して計測するガスモニタリング手段１０２と、解体設備１００内から排水タンク１０３へ排出する排水１０４中の有害物質を計測する排水モニタリング手段１０５とを備えてなる。例文帳に追加

This disassembly monitoring system for the disposing furnace monitors the environment of facilities in which the disposing furnace is disassembled, and is equipped with a gas monitoring means 102 for measuring the concentration of hazardous substances in disassembling facilities 100 through sampling piping 101; and a drain monitoring means 105 for measuring the hazardous substances in drain 104 exhausted into a drain tank 103 from the disassembling facilities 100. - 特許庁