気相輸送反応の英語

半導体ウェハ気相成長用の原料ガス均一輸送反応管例文帳に追加

UNIFORM TRANSPORTATION REACTION TUBE OF RAW MATERIAL GAS FOR SEMICONDUCTOR WAFER VAPOR-PHASE GROWTH - 特許庁

上記プラズマ形成室で形成された活性種が反応室に輸送されると共に反応室へ第２のガスを導入することにより、上記活性種との気相反応あるいは上記基板上での表面反応がすすみ基板上に膜が形成される。例文帳に追加

When the activated species formed in the plasma generating chamber are carried into the reaction chamber and a second gas is introduced into the reaction chamber, a vapor phase reaction with the activated species or a surface reaction on the substrate proceeds and forms a film on the substrate. - 特許庁

半導体ウェハの気相成長工程において、原料ガスを半導体ウェハの表面へ均一に供給できる、半導体ウェハ気相成長用の原料ガス均一輸送反応管を提供する。例文帳に追加

To provide a uniform transportation reaction tube of raw material gas for semiconductor wafer vapor-phase growth, capable of uniformly supplying a raw material gas to the surface of a semiconductor wafer in a vapor-phase growth process of semiconductor wafer. - 特許庁

金属ハロゲン化物の気相酸化反応または気相加水分解反応で得られる金属酸化物粗粉体の作業性を改良し、保管、移送または輸送等にてきしたものにする金属酸化物粗粉体の処理方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a method for treating metallic oxide coarse powder by which the operability of metallic oxide coarse powder obtained by vapor phase oxidation reaction or vapor phase hydrolysis reaction of a metallic halide can be improved, and the powder becomes more suitable for storage, transfer, conveyance or the like. - 特許庁