ゲッタリング法の英語

シリコン結晶中の遷移金属不純物のゲッタリング方法例文帳に追加

METHOD OF GETTERING TRANSITION METAL IMPURITY IN SILICON CRYSTAL - 特許庁

ゲッタリング能力を有するシリコンウェーハ、およびデバイスの製造方法例文帳に追加

SILICON WAFER HAVING GETTERING CAPABILITY, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

内部ゲッタリングされたヘテロエピタキシャル半導体ウエハ及びその製造方法例文帳に追加

HETERO-EPITAXIAL SEMICONDUCTOR SUBJECTED TO INTERNAL GETTERING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF - 特許庁

ゲッタリング能力を有するシリコン単結晶ウェーハ及びその製造方法例文帳に追加

SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER HAVING GETTERING CAPABILITY AND ITS MANUFACTURING METHOD - 特許庁

半導体集積回路のゲッタリング方法及び半導体集積回路例文帳に追加

METHOD OF GETTERING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT - 特許庁

ウェーハ裏面に形成されるゲッタリング層の良否の間接評価方法例文帳に追加

INDIRECT QUALITY EVALUATION METHOD FOR GETTERING LAYER FORMED ON WAFER BACKSIDE - 特許庁

ゲッタリングを行っても基板の縮みを抑制できる半導体装置の作製方法及びゲッタリング装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing semiconductor device and a gettering device by which the contraction of a substrate can be suppressed even when gettering is performed. - 特許庁

半導体膜及びその作製方法、半導体装置及びその作製方法、ゲッタリング装置例文帳に追加

SEMICONDUCTOR FILM AND ITS MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD, AND GETTERING DEVICE - 特許庁