シアリンの英語

ダイナミックピューピルフィルシアリング干渉計例文帳に追加

SHEARING INTERFEROMETER WITH DYNAMIC PUPIL FILL - 特許庁

シアリング干渉計、シアリング干渉計による計測方法、投影光学系の製造方法、投影光学系及び露光装置例文帳に追加

SHEARING INTERFEROMETER, MEASURING METHOD BY SHEARING INTERFEROMETER, METHOD OF MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND EXPOSURE DEVICE - 特許庁

シアリング干渉測定方法及びシアリング干渉計、投影光学系の製造方法、投影光学系、及び投影露光装置例文帳に追加

SHEARING INTERFERENCE MEASURING METHOD AND SHEARING INTERFEROMETER, METHOD OF MANUFACTURING FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE - 特許庁

ＥＵＶ用シアリング干渉計の回折格子の回折方向測定方法例文帳に追加

DIFFRACTION DIRECTION MEASURING METHOD OF DIFFRACTION GRATING OF SHEARING INTERFEROMETER FOR EUV - 特許庁

グレーティングシアリング干渉計を用いた位相分布の計測方法例文帳に追加

METHOD OF MEASURING PHASE DISTRIBUTION BY USING GRATING SHEARING INTERFEROMETER - 特許庁

シアリング干渉測定装置の校正方法、シアリング干渉測定方法、シアリング干渉測定装置、投影光学系の製造方法、投影光学系、投影露光装置の製造方法、投影露光装置、マイクロデバイスの製造方法、及びマイクロデバイス例文帳に追加

METHOD FOR CALIBRATING SHEARING INTERFERENCE MEASURING DEVICE, METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SHEARING INTERFERENCE, METHOD FOR MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, THE PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO DEVICE, AND MICRODEVICE - 特許庁

回折格子１５は、レンズ８の瞳面でシアリング干渉を生じるように設計されている。例文帳に追加

The diffraction grating 15 is designed so as to generate shearing interference in the eye surface of the lens 8. - 特許庁

シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technology advantageous for accurately determining a shear amount in a shearing interferometer. - 特許庁