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湿式スタックの英語
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英訳・英語 wet stack
「湿式スタック」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
トレンチを形成した絶縁膜を湿式エッチングで除去することなく王冠構造を作成できるので、下部電極の倒壊やペアビット不良を回避してキャパシタ容量がほぼ2倍となるスタックトレンチ型のキャパシタを提供することができる。例文帳に追加
Since the crown structure can be formed without removing the insulating film where the trench is formed by wet etching, the capacitor of a stack trench type with capacity almost twice as large as the original can be supplied by avoiding collapse of the lower electrode and a pair bit defect. - 特許庁
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wet stack
JST科学技術用語日英対訳辞書
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