シリコン圧力センサの英語

長期信頼性を有し、シリコンオイル漏れの現象はなく高精度の圧力検出ができる耐蝕型圧力センサを提供する。例文帳に追加

To provide a corrosion resistant pressure sensor achieving high- precision pressure sensing with a long term reliability free from silicone oil leakage development. - 特許庁

圧力センサは、単結晶シリコン支持基板１と、単結晶シリコン支持基板１上に形成された絶縁層２と、絶縁層２上に形成された均一な厚さを有する単結晶シリコン薄板３とを備えている。例文帳に追加

This pressure sensor is provided with a single-crystal silicon support substrate 1, an insulating layer 2 formed on the single-crystal silicon support substrate 1, and a single-crystal silicon thin sheet 3 having a uniform thickness formed on the insulating layer 2. - 特許庁

本発明は圧力室内へのシリコンオイルの充填作業や封止作業が容易で、低コストで製造することができる圧力センサの製造方法および圧力センサを得るにある。例文帳に追加

To provide a pressure sensor manufacturing method and a pressure sensor which facilitates filling of a pressure chamber with silicone oil and sealing, and achieves low-cost manufacturing. - 特許庁

窒化シリコン膜２８／タングステンシリサイド膜２６の積層膜は、圧力センサのダイヤフラムを構成している。例文帳に追加

The laminated film of the silicon nitride film 28/the tungsten silicide film 26 constitutes the diaphragm of the pressure sensor. - 特許庁

ある実施形態では、露出されたシリコン領域を備えたピエゾ抵抗圧力センサ１００は、選択酸化（ＬＯＣＯＳ）プロセスを経る。例文帳に追加

In a certain embodiment, a piezoresistive pressure sensor 100 having an exposed silicon region undergoes a preferential local oxidation of silicon (LOCOS) process. - 特許庁

シリコンウェーハ２’を各凹所３毎に四角のチップに切断して、各チップをピエゾ抵抗式圧力センサとする。例文帳に追加

The silicon wafer 2' is cut into a square chip for each of the recess 3, each chip is used for a piezo-resistance type pressure sensor. - 特許庁

そして、上記シリコン基板１０１に上記検出用圧力センサ１０３と安全弁を直接接続して配置している。例文帳に追加

Then, the detection-use pressure sensor 103 and the safety valve are arranged in direct connection on the silicon substrate 101. - 特許庁

圧力センサをサイドドア内に配設する場合、シリコンダイヤフラム１８の受圧面１８ａを側面衝突方向に対し傾ける。例文帳に追加

When the pressure sensor is arranged within a side door, a pressure receiving surface 18a of the silicon diaphragm 18 is tilted to side-impact direction. - 特許庁