シリサイド薄膜の英語

励起時の発光能を有するβ−鉄シリサイド薄膜、該薄膜の製造方法及び薄膜の製造装置の提供。例文帳に追加

To provide a β-iron silicide thin film having light emission capability when excited, a method of manufacturing the same, and a device for manufacturing a thin film. - 特許庁

マイクロクリスタルシリコン薄膜と金属薄膜との過剰なシリサイド化反応を抑制して、マイクロクリスタルシリコン薄膜の膜剥れを防止する。例文帳に追加

To prevent a microcrystal silicon thin film from being peeled by suppressing excessive silicidation reaction between the microcrystal silicon thin film and a metal thin film. - 特許庁

ここで、鉄シリサイド薄膜は、ＰＬ測定により発光が認められる。例文帳に追加

In this case, in the iron silicide thin film, luminescence is observed by PL measurement. - 特許庁

基板表面に平滑に成長させたシリサイド薄膜及びその製造方法例文帳に追加

SILICIDE THIN FILM SMOOTHLY GROWN UP ON SURFACE OF SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURING METHOD - 特許庁

薄膜トランジスタの製造に際し、シリサイド化可能な金属膜を成膜しても、シリサイド層の除去を不要とする。例文帳に追加

To eliminate the need for removing a silicide layer, even if a metal film, capable of forming silicide, is formed at manufacturing of a thin film transistor. - 特許庁

鉄シリサイド薄膜の製造方法は、レーザアブレーション法により、基板上に鉄シリサイド薄膜を形成する工程と、この工程により得られたものをアニーリングする工程とを含んでいる。例文帳に追加

The method of manufacturing an iron silicide thin film comprises a step of forming an iron silicide thin film on a substrate by a laser ablation method, and a step of annealing the resulted product obtained by the former step . - 特許庁

炭化シリコンが混入せず、膜質のよい遷移元素シリサイド薄膜を成膜する技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technique for depositing a transition element silicide thin film of high film quality, being free from contamination with silicon carbide. - 特許庁

半導体装置の製造において、細線化したゲート電極上のシリサイドにおける凝集の防止および当該シリサイドの薄膜化を両立する。例文帳に追加

To prevent the agglomeration in a silicide on a thinning gate electrode and, at the same time, thin the silicide, in the manufacture of a semiconductor device. - 特許庁