シード回転速度の英語

単結晶中の酸素濃度をさらに低減するためには、シードの回転速度を８ｒｐｍ以下に設定して単結晶の成長を行うことが好ましい。例文帳に追加

In order to further decrease the oxygen concentration in the single crystal, the single crystal is preferably grown by setting the rotation speed of a seed to not more than 8 rpm. - 特許庁

石英るつぼに収容された半導体メルト（ｍｅｌｔ）にシード（ｓｅｅｄ）を浸した後、前記石英るつぼを回転させるとともに水平強磁場を印加しながら引き上げ、固液界面を通じて半導体単結晶を成長させるチョクラルスキー（Ｃｚ）法を用いた半導体単結晶の製造方法であって、前記石英るつぼを０.６〜１.５ｒｐｍの速度で回転させながら引き上げる。例文帳に追加

The method for producing a semiconductor single crystal using a Czochralski (Cz) method for growing a semiconductor single crystal through a solid-liquid interface by dipping a seed into a semiconductor melt housed in a quartz crucible, and pulling the seed while rotating the quartz crucible and applying a strong horizontal magnetic field, wherein the seed is pulled while the quartz crucible is rotated with a rate of from 0.6 to 1.5 rpm. - 特許庁

チョクラルスキー法によりシリコン単結晶Ｓを製造する製造方法は、単結晶製造装置１において、坩堝６中の溶融されたシリコン原料Ｆに１０００ガウス以上５０００ガウス以下の磁界を印加し、かつシードの回転速度を８ｒｐｍ以下に制御して単結晶Ｓの成長を実行する。例文帳に追加

The method for producing a silicon single crystal S by Czochralski method includes growing the single crystal S in a single crystal production apparatus 1 by applying a magnetic field of 1,000 Gauss or more and 5,000 Gauss or less to a silicon raw material F molten in a crucible 6 and controlling the rotation speed of a seed to not more than 8 rpm. - 特許庁