ダイバージェンスの英語

ビームダイバージェンス検出器３４で、放電方向のビームダイバージェンスθyを求める。例文帳に追加

A beam divergence detector 34 finds beam divergence θy in an electric discharge direction. - 特許庁

レーザ発振効率を向上させると共に、ビームダイバージェンスの拡大を抑制する。例文帳に追加

To improve the lasing efficiency, while suppressing the expansion of beam divergence. - 特許庁

レーザコントローラ４１で、ビームダイバージェンスθyとフッ素濃度Ｆ_２との相関と、求めたビームダイバージェンスθyとからチャンバ１０内のフッ素濃度Ｆ_２を求める。例文帳に追加

A laser controller 41 finds the fluorine concentration F_2 in the chamber 10 from the correlation between the beam divergence θy and fluorine concentration F_2 and the found beam divergence θy. - 特許庁

パージガスの温度勾配によるビームダイバージェンスの悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつ露光用レーザ装置を提供する。例文帳に追加

To provide a laser device for exposure having stable laser performance by preventing deterioration in a beam divergence owing to a temperature gradient of purge gas. - 特許庁

該イメージングディテクタ２２は、放射ビームの空間的コヒーレンスとダイバージェンスの混合物を検出可能である。例文帳に追加

The imaging detector 22 is capable of detecting a mixture of spatial coherence and divergence of the radiation beam. - 特許庁

ビームダイバージェンスの悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつレーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法を提供する。例文帳に追加

To provide a laser beam axis adjustment device having stable laser performance by preventing deterioration in beam divergence, and to provide a laser beam axis adjustment method. - 特許庁

ビーム調整デバイスは、放射ビームのポジション、方向、サイズ、またはダイバージェンスを安定させて、調整ビームを生成するように構成される。例文帳に追加

The beam adjusting device is configured to stabilize a position, a direction, a size, or a divergence of the radiation beam to produce an adjusted beam. - 特許庁